超純水系統是指從原水到超純水的完整生產系統。一般來說，超純水系統是由多次過濾、離子交換、除氣、反滲透、紫外線、超濾、納米率和離子吸附過濾產生的超純水。

　　一、超純水系統工藝流程

　　1): 預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外線-純水泵-水點

　　2): 預處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲透膜)-純水箱-純水泵-紫外線-水點

　　3): 預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-ED裝置-純水箱-純水泵-紫外線-水點

　　4): 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點

　　水質符合美國ASTM標準，電子部超純水質標準(18MMΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)

　　二、超純水系統反滲透（膜分離）法超純水制造技術

　　反滲透是用足夠的壓力將溶液中的溶劑（通常是指水）通過反滲透膜（半透膜）分離出來，方向與滲透方向相反，可以用大于滲透壓的反滲透方法分離、凈化和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。

　　超純水系統特點：

　　①無需加熱，無相變；

　　②能耗低；工藝連續穩定；

　　③設備體積小，操作簡單，適應性強；

　　④不污染環境。

　　一級反滲透

　　經過粗濾的水再經反滲透膜為一級反滲透膜，反滲透膜為半透膜，可防止Ga2+、Mg2+，Fe-2 ，SO4-2，Cl-1，Na+當大離子通過時，為了保證反滲透效果和反滲透膜的保護，必須不斷向反滲透容器添加阻垢劑，水溫必須在25℃以上（冬季使用蒸汽換熱器），保證一定的水壓，（使用立泵）在一定壓力下，含離子水通過反滲透膜擠壓，形成兩種水，所有通過反滲透膜的水，即成品水進入下一個環節，未經反滲透膜的水排出，經過一次反滲透處理的水進入下一個環節——二次反滲透。

　　二次反滲透的原理與一次反滲透相同，其作用是進一步去除水中的鹽分，(Ga2+，Mg2+，Fe-2 ，SO4-2，Cl-1，Na+等離子體)使水質進一步提高，二次反滲透后，水質電導率可接近1MΩ.CM。經過一、二次反滲透預處理后，保留水成為EDI供水，未經反滲透膜的水（濃水）及時排出，比例一般為1：3、即每生產一噸合格水，就要排出3噸左右的濃水(中水)。